Napajalnik za razprševanje
-
Napajalnik za srednjefrekvenčno razprševanje serije MSB
RF napajalniki serije RHH temeljijo na zreli tehnologiji generacije RF, ki strankam zagotavljajo RF napajanje z večjo močjo, večjo natančnostjo in hitrim odzivom. Z možnostjo nastavitve faze, impulznega krmiljenja, digitalnega uglaševanja in drugimi funkcijami. Uporabna področja: fotovoltaična industrija, industrija ploskih zaslonov, polprevodniška industrija, kemična industrija, laboratoriji, znanstvene raziskave, proizvodnja itd.
Uporabni postopki: plazemsko izboljšano kemično nanašanje s paro (PECVD), plazemsko jedkanje, plazemsko čiščenje, radiofrekvenčni ionski vir, plazemska difuzija, plazemsko polimerizacijsko razprševanje, reaktivno razprševanje itd.
-
Napajalnik za razprševanje serije MSD
Napajalnik za enosmerni brizgalni tok serije MSD uporablja osnovni sistem krmiljenja enosmernega toka podjetja v kombinaciji z odlično shemo obdelave obloka, tako da ima izdelek zelo stabilno delovanje, visoko zanesljivost izdelka, majhne poškodbe obloka in dobro ponovljivost procesa. Uporablja kitajski in angleški vmesnik za enostavno upravljanje.