RF napajalnik serije RHH
-
RF napajalnik serije RHH
RF napajalnik serije RHH temelji na zreli tehnologiji RF generiranja, da strankam zagotovi RF napajalnik z večjo močjo, večjo natančnostjo in hitrim odzivom.Z možnostjo nastavitve faze, krmiljenjem impulzov, digitalnim uglaševanjem in drugimi funkcijami.Uporabna področja: fotovoltaična industrija, industrija ploskih zaslonov, polprevodniška industrija, kemična industrija, laboratorij, znanstvene raziskave, proizvodnja itd.
Uporabni postopki: kemično nanašanje s pomočjo plazme (PECVD), plazemsko jedkanje, plazemsko čiščenje, radiofrekvenčni vir ionov, plazemska difuzija, razprševanje s polimerizacijo v plazmi, reaktivno razprševanje itd.